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【SK海力士评估KCTech超临界流体清洁剂用于DRAM生产线】

SK海力士正在评估KCTech的超临界流体清洁剂是否适用于其DRAM生产线。超临界流体技术涉及温度和压力高于临界点的状态，这种状态下流体兼具液体和气体的特性，能有效溶解晶圆上的残留物和污染物。SK海力士预计KCTech将在年内完成评估，但由于技术复杂性，可能需要更多时间。